研究者
J-GLOBAL ID:200901080089397210
更新日: 2010年10月17日
豊田 宏
トヨタ ヒロシ | Toyota Hiroshi
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所属機関・部署:
弘前大学 大学院理工学研究科
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職名:
助教
研究分野 (5件):
薄膜、表面界面物性
, プラズマ科学
, プラズマ応用科学
, ナノマイクロシステム
, ナノ材料科学
研究キーワード (6件):
マイクロファブリケーション
, 薄膜
, MEMS
, Micro fabrication
, thin film
, Micro Electro Mechanical System
競争的資金等の研究課題 (2件):
2005 - 2008 人体行動センシング用MEMS加速度センサの開発
2005 - 2008 Development of MEMS Accelerometer for Human Motion Sensing
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