研究者
J-GLOBAL ID：200901082148221132
更新日: 2020年08月25日
渡邉 昭雄
ワタナベ アキオ | Watanabe Akio
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所属機関・部署：
独立行政法人産業技術総合研究所 つくば中央第五事業所 物質プロセス研究部門 機能性無機物質化学グループ
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MISC (4件)：
Akio Watanabe, Masakazu Mukaida, Kazuo Osato, Yoji Imai, Tetsuya Kameyama, Kenzo Fukuda. Recovery of stoichiometry of Ta2O5 prepared by KrF excimer laser CVD from tantalum methoxide using microwave discharge of oxygen gas. Journal of Materials Science. 1995. 30. 18. 4603-4608
Akio Watanabe, Masakazu Mukaida, Kazuo Osato, Yoji Imai, Tetsuya Kameyama, Kenzo Fukuda. Recovery of stoichiometry of Ta2O5 prepared by KrF excimer laser CVD from tantalum methoxide using microwave discharge of oxygen gas. Journal of Materials Science. 1995. 30. 18. 4603-4608
KrF laser CVD of titanium oxidsfilm from titanium tetra isopropoxide
KrF laser CVD of titanium oxidsfilm from titanium tetra isopropoxide
学歴 (1件)：
新潟大学
学位 (1件)：
工学博士
所属学会 (4件)：
The Japanese Society of Applied physics
, The Electrochemical Society of Japan
, The Chemical Society of Japan
, The Ceramic of Japan
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