研究者
J-GLOBAL ID:200901089925275130   更新日: 2008年09月29日

歳川 清彦

トシカワ キヨヒコ | TOSHIKAWA Kiyohiko
所属機関・部署:
職名: その他
研究キーワード (1件): 真空紫外光CVD
競争的資金等の研究課題 (1件):
  • 2002 - 2004 真空紫外光CVD法によるシリコン薄膜作製の研究
特許 (1件):
  • 特許第342959号
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