研究者
J-GLOBAL ID:200901090561066385   更新日: 2020年05月06日

渋谷 眞人

シブヤ マサト | Shibuya Masato
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (1件): http://www.t-kougei.ac.jp/engineering/index.html
研究分野 (3件): 航空宇宙工学 ,  電気電子材料工学 ,  光工学、光量子科学
研究キーワード (4件): 光リソグラフィー ,  光学設計 ,  Optical Lithography ,  Optical Design
競争的資金等の研究課題 (6件):
  • 宇宙光学系
  • 光リソグラフィーの超解像技術
  • 光学系の基礎理論
  • Space Optics
  • Resolution enhancement technology of optical lithography
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MISC (11件):
特許 (4件):
  • 照明光学装置
  • 投影露光装置
  • 照明光学装置
  • 被投影原版
学位 (1件):
  • 博士(工学) (東京大学)
委員歴 (5件):
  • 2002 - 次世代リソグラフィー研究会 幹事
  • 2001 - 応用物理学会 評議員
  • 1993 - 1998 光設計研究グループ 運営委員
  • 1994 - 1996 日本光学会 編集委員
  • 1989 - 1991 日本光学会 常任幹事
受賞 (1件):
  • 1996 - 科学技術庁長官賞
所属学会 (4件):
次世代リソグラフィー研究会 ,  光設計研究グループ ,  応用物理学会 ,  日本光学会
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