研究者

J-GLOBAL ID：200901093758592940 更新日: 2025年04月07日

益一哉

マスカズヤ | Masu Kazuya

所属機関・部署：
職名：学長
その他の所属（所属・部署名・職名） (1件)：

東京工業大学博物館教授

研究分野 (1件)：電子デバイス、電子機器

研究キーワード (1件)：集積回路工学

競争的資金等の研究課題 (29件)：

2016 - 2020 群知能シリコンの創出とIoTセンサネットワークへの展開
2015 - 2018 結晶構造を制御した金合金めっきによるナノG検出法の開拓
2012 - 2015 エネルギー・ハーベスティングの高効率化限界の追求
2011 - 2014 異種機能素子統合設計技術と人体行動予知システム用チップの研究
2009 - 2012 TrueScalableSiCMOSLSIの研究

2006 - 2010 シリコンナノエレクトロニクスの新展開に関する総括的研究

2006 - 2009 ナノスケール配線および回路のシグナル・インテグリティに関する研究

2004 - 2007 通信理論に基づくオンチップ超高速ナノスケールネットワークの開発

2004 - 2006 脳活動計測のための多層アクティブアレイ電極に関する研究

2005 - 2005 シリコンナノエレクトロニクスの新展開-ポストスケーリングテクノロジー

2002 - 2004 Siナノ構造を用いた消化器系診断in-vivo粒状チップの創製

2000 - 2004 超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究

2002 - 2003 マイクロメカニクス技術を用いたGHz帯可変インダクタの開発

2001 - 2003 in vivoワイヤレス通信チップの基礎研究

2001 - 2003 超高速マイクロ構造伝送配線の開発とRF駆動回路の研究

2001 - 2002 ULSI極微細配線におけるGHzエレクトロマイグレーション耐性限界評価法の確立

1999 - 2001 RF/アナログ/デジタル混在グローバルインテグレーション技術の研究

1996 - 1999 Eb/No-BER設計に基づく超低消費電力シリコン集積回路

1996 - 1998 超LSI多層配線AICVD装置の開発

1996 - 1998 完全自己整合メタライゼーション超高速CMOSの研究

1993 - 1995 シングルエレクトロン・トランジスタの開発

1990 - 1993 スプレッドスペクトラム高度情報ワイヤレス通信モデムの研究

1990 - 1990 反応性水素プラズマによる選択励起有機金属を用いたAl選択成長の研究

1987 - 1990 コ-ルドエレクトロニクス技術を用いた半導体集積回路の研究

1988 - 1988 有機金属用弱励起プラズマによるAl CVDの表面反応制御の研究

1988 - 1988 ワイドギャップ窒化アルミニウム薄膜結晶成長とその制御

グローバルインテグレーション技術

高速信号処理集積回路

GHz集積回路多層配線技術

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論文 (296件)：

Taro Omura, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Effect of current density on micro-mechanical property of electrodeposited gold film evaluated by micro-compression. Surface and Coatings Technology. 2022. 436. 128315-128315
藤田一矢, 鈴木康介, 陳君怡, ツォーフーマークチャン, 伊東浩之, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人. 金単結晶微小カンチレバーの機械的特性とサンプル形状効果. 応用物理学会学術講演会講演予稿集. 2021. 2021.2. 2581-2581
Akihiro Uchiyama, Takashi Ichikawa, Kohei Shibata, Shin-Ichi Iida, Sangyeop Lee, Noboru Ishihara, Katsuyuki MacHida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito. A MEMS ACCELEROMETER with A SINGLE AXIS TWO PROOF MASSES for A WIDE DETECTION RANGE. 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021. 2021. 112-115
Hitomi Watanabe, Tso-Fu Mark Chang, Michael Schneider, Ulrich Schmid, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, et al. Effective Young’s Modulus of Complex Three Dimensional Multilayered Ti/Au Micro-Cantilevers Fabricated by Electrodeposition and the Temperature Dependency. Electrochem. 2021
Takashi Ichikawa, Akihiro Uchiyama, Kohei Shibata, Shinichi Iida, Sangyeop Lee, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito. A 3-D Capacitive-Detection Electrode for a Single Gold Proof-Mass Three-Axis MEMS Accelerometer. INERTIAL 2021 - 8th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings. 2021

MISC (486件)：

Masato Sone, Kazuya Masu. Novel Metal Electrodeposition and the Recent Application. 2019
伊藤浩之, 石原昇, 道正志郎, 益一哉, 依田信裕, 佐々木啓一. 口腔内荷重計測のための超低消費電力ワイヤレスセンサノードの検討. 生体医歯工学共同研究拠点成果報告書. 2018. 平成29年度. 163-163
Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu. A 0.18-μm CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers. IEICE Electronics Express. 2018. 15. 2
大西脩平, 崔容俊, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 益一哉, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一. フォトゲート型蛍光センサを用いたレジオネラの蛍光観測 (第9回集積化MEMSシンポジウム). 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]. 2017. 34. 1-4
古賀達也, 辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 小西敏文. 積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討 (第9回集積化MEMSシンポジウム). 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]. 2017. 34. 3p

書籍 (5件)：

電子物性とデバイス
コロナ社 2020 ISBN:9784339018097
Advanced Microwave Circuits and Systems
2010 ISBN:9789533070872
Advanced Microwave Circuits and Systems
2010 ISBN:9789533070872
日本学術振興会薄膜131委員会編「薄膜ハンドブック(第二版)」2008年
日本学術振興会薄膜131委員会 2008
Al-CVD技術と装置・材料
2004半導体テクノロジー大全(電子ジャーナル) 2004

講演・口頭発表等 (385件)：

Wireless pH sensor module with an ISFET
(2010 年電子情報通信学会総合大会 2010)
A Digital Based Scalable QPSK RF Modulator
(2010)
Investigation of CMOS QPSK RF Signal Generator using Injection Locking
(2010 年電子情報通信学会総合大会 2010)
Wide-Band, Linear Low Noise Amplifier Design
(2010)
Study of High-Gain and Wideband RF Variable Gain Amplifier based on CMOS Inverter Topology.
(2010)

Works (8件)：

Si CMOS技術による超広帯域リコンフィギュラブルRF集積回路技術の研究開発
2004 - 2004
オンチップLANを実現するバスIPの開発
2004 - 2004
次世代オンチップマイクロ波素子
2004 - 2004
ウエハレベルパッケージ技術による高周波IC用インダクタの開発
2004 - 2004
GHz信号伝送多層配線技術
2001 - 2004

学歴 (3件)：

1977 - 1982 東京工業大学工学研究科電子工学専攻
1975 - 1977 東京工業大学工学部電子物理工学科
1970 - 1975 神戸市立工業高等専門学校電気工学科

学位 (1件)：

工学博士 (東京工業大学)

経歴 (10件)：

2018/04/01 - 東京工業大学学長
2016/04/01 - 2018 東京工業大学科学技術創成研究院研究院長・教授
2014/04/01 - 2016/03/31 東京工業大学フロンティア研究機構教授
2011/04/01 - 2016/03/31 東京工業大学異種機能集積研究センターセンター長
2000/06/01 - 2016/03/31 東京工業大学精密工学研究所教授

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委員歴 (6件)：

2017/05 - 2019/05 エレクトロニクス実装学会会長
2014/03 - 2016/03 応用物理学会副会長
2009/05 - 2010/05 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ会長
2000 - 2001 IEEE(The Institute of Electrical and Electronics Engineers) EDS, Japan Chapter, Secretary
1995 - 1995 応用物理学会編集委員

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受賞 (6件)：

2017/01/30 - 日経エレクトロニクス NEアナログ・イノベーション・アワード2016 優秀賞
2015 - 電子情報通信学会フェロー
2013/05 - 電子情報通信学会業績賞スケーラブル広帯域RF CMOS集積回路の研究
2013 - 電気学会フェロー
2010/10 - 社団法人電気学会社団法人電気学会上級会員

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所属学会 (4件)：

応用物理学会 , 電子情報通信学会 , 電気学会 , IEEE(The Institute of Electrical and Electronics Engineers)

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