中村勝光

ナカムラカツミツ | Nakamura Katsumitsu

所属機関・部署：
職名：准教授

研究分野 (3件)：電子デバイス、電子機器 , ナノバイオサイエンス , ナノ材料科学

研究キーワード (2件)：無機薄膜材料 , Thin Films Material of Inorganic

競争的資金等の研究課題 (12件)：

2004 - 2008 気相成長法による配向性カーボンナノチューブの生成
2004 - 2008 Preparation of Oriented Carbon Nanotube by CVD
2001 - 2008 有機金属化学気相成長法による炭化ケイ素膜の作成
2001 - 2008 スパッタリングCVD法によるダイヤモンド系(窒化炭素)析出物の作製
2001 - 2008 Preparation of Silicon Carbide Films by Metal Organic Chemical Vapor Deposition

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MISC (114件)：

Preparation of Cubic Boron Nitride Films by Micro-Wave Plasma CVD using BF3. 16th International Symposium of Boron Boride and Related Materials (Matsue, Japan). 2008
Deposition of Cubic Boron Nitride Films by Plasma Torch CVD in N2-BF3 gas system. 16th International Symposium of Boron Boride and Related Materials (Matsue, Japan). 2008
Preparation of MgB2 thin films by reactive sputtering with substrate bias. 16th International Symposium of Boron Boride and Related Materials (Matsue, Japan). 2008
Preparation of Cubic Boron Nitride Films by Micro-Wave Plasma CVD using BF3. 16th International Symposium of Boron Boride and Related Materials (Matsue, Japan). 2008
Deposition of Cubic Boron Nitride Films by Plasma Torch CVD in N2-BF3 gas system. 16th International Symposium of Boron Boride and Related Materials (Matsue, Japan). 2008

特許 (4件)：

書籍 (6件)：

ホウ素・ホウ化物の基礎と応用
シーエムシー出版 2008
セラミックスの辞典
朝倉書店 2008
Boron Films
Boron Films Electric Refractory Materials Marcel Dekker, Inc. 2000
Boron Films
Boron Films Electric Refractory Materials Marcel Dekker, Inc. 2000
Preparation of Boron Nitride Films by Chemical Vapor Deposition
Material Science forum 1990

Works (3件)：

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

所属学会 (5件)：

日本化学会 , 日本応用物理学会 , 日本金属学会 , 表面技術協会 , 電気化学協会

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中村 勝光