研究者
J-GLOBAL ID:200901096307416951
更新日: 2021年10月20日
柴田 明
シバタ アキラ | Shibata Akira
所属機関・部署:
旧所属 福井工業大学 工学部 経営情報学科
旧所属 福井工業大学 工学部 経営情報学科 について
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職名:
教授,名誉教授(福井工業高等専門学校)
研究分野 (4件):
電気電子材料工学
, 薄膜、表面界面物性
, ヒューマンインタフェース、インタラクション
, データベース
研究キーワード (6件):
マルチメディアと教育
, 電子デバイス
, 反応性プラズマ
, Multimedia and Education
, Electronics device
, Reactively plasma
競争的資金等の研究課題 (8件):
光触媒TiO
2
膜の作成と応用
「学生のための電子工学Q&A」ホームページの作成
電子デバイスの特性と応用に関する研究
反応性スパッタによる機能性薄膜に関する研究
Growth and application on photo-catalysis TiO
2
film.
Home page preparation of Electronics Q and A for student
Study on the Characteristics and application of Electronics devices
Study on Functional films by Reactively sputter
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MISC (11件):
プラズマ中の活性粒子を用いたTiO
2
スパッタ膜の形成(II). 福井工業大学研究紀要. 2004. 34. 267-274
プラズマ中の活性粒子を用いたTiO
2
スパッタ膜の形成. 福井工業大学研究紀要. 2003. 33. 297-303
Akira Shibata, Kazumaro Kita, Kunio Okimura. Plasma cleaning of Si surfaces for TiO2 film deposition. Electronics and Communications in Japan, Part II: Electronics (English translation of Denshi Tsushin Gakkai Ronbunshi). 2000. 83. 7. 9-13
Investigation of SiO
2
deposition processes with mass spectrometry and optical emission spectroscopy in plasma enhanced chemical vapor deposition using tetraoxysilane(coauthor). Thin Solid Films. 1999. 343/344. 148-151
Kunio Okimura, Akira Shibata. Deposition of High-Quality TiO
2
Films by RF Magnetron Sputtering with an Auxiliary Permanent Magnet(coauthor). Japanese Journal of Applied Physics. 1997. 36. 7B. 4917-4921
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Works (4件):
可とう性絶縁電線のセラミックス皮膜に関する研究
1995 -
Study on the seramics film growth of flexible insulated wire
1995 -
眼鏡枠のTiNコーティングに関する研究
1990 -
Study on TiN coating of glasses-frame
1990 -
学歴 (4件):
- 1965 京都大学 工学研究科 電気工学
- 1965 京都大学
- 1961 千葉大学 工学部 電気工学科
- 1961 千葉大学
学位 (2件):
博士(工学) (名古屋大学)
修士(工学) (京都大学)
経歴 (4件):
1968 - 1999 福井工業高等専門学校 助教授・教授
1968 - 1999 Associate professor and professor at Fukui National College of Technology
1961 - 1968 航空自衛隊研究開発部
1961 - 1968 Research department of the Japan Air Defense Force
所属学会 (2件):
応用物理学会
, 電子情報通信学会
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