- 2022 - 2025 気体流および液体流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成と応用
- 2016 - 2019 分子ガスを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマによる幅広ラジカル生成とその応用展開
- 2016 - 2018 液中化学活性種寿命の革新的計測手法の創出
- 2013 - 2016 メートル長高密度大気圧マイクロ波プラズマ生成とその物理過程の解明
- 2012 - 2014 ターゲットを均一に利用する無磁場マイクロ波スパッタ製膜
- 2009 - 2011 大気圧プラズマ密度計測の高精度化
- 2006 - 2007 粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発
- 2003 - 2005 マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出
- 2003 - 2004 フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究
- 2000 - 2002 表面波プラズマによる大面積・高品質液晶プロセスの開発
- 1998 - 2001 高性能ビーム装置を用いる表面反応過程の研究
- 1998 - 2000 フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用
- 1997 - 1999 高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
- 1995 - 1997 リチウム膜による水素の選択排気法の開発
- 1995 - 1996 新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
- 1994 - 1995 定常化研究における第一壁のコンディショニング法
- 1993 - 1994 リチウムコーティングとプラズマ・表面過程の基礎研究
- 1992 - 1994 表面磁場を用いる大口径RFプラズマの開発
- 1992 - 1993 ボロニゼーションによる粒子制御の最適化
- 1989 - 1990 超微細プロセス用低エネルギ-粒子ビ-ム源の開発
- 1987 - 1988 ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成
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