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J-GLOBAL ID：200902000861535870   整理番号：86A0318095

表面上の粒子汚染の光学的検出 レビュー

Optical detection of particle contamination on surfaces: A review.

著者 (1件)： LILIENFELD P (GCA, MA)
資料名： Aerosol Science and Technology  (Aerosol Science and Technology)
巻： 5  号： 2  ページ： 145-165  発行年： 1986年 
JST資料番号： H0030B  ISSN： 0278-6826  CODEN： ASTYDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 円滑な表面への粒子汚染を検出し,測定するための光散乱法の適用...

シソーラス用語： 汚染 ,...

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分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 粒子汚染 ,  光学的検出 ,  レビュー