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J-GLOBAL ID：200902001169127733   整理番号：86A0180778

固体核磁気共鳴を利用した非晶質炭素-水素膜の特性評価

Characterization of amorphous carbon-hydrogen films by solid-state nuclear magnetic resonance.

著者 (3件)： KAPLAN S (Xerox, New York) ,  JANSEN F (Xerox, New York) ,  MACHONKIN M (Xerox, New York)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 47  号： 7  ページ： 750-753  発行年： 1985年10月01日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質炭素薄膜の構造と性質は成膜条件に敏感である。イオンビー...

シソーラス用語： 非晶質 ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 固体 ,  核磁気共鳴 ,  非晶質炭素 ,  水素 ,  特性評価