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J-GLOBAL ID：200902001309769552   整理番号：90A0821793

超精密位置決め技術の開発 (第3報) 粗微動複合型一軸テーブルの試作と評価

Development of the extra-precision positioning technology.( Third report ).Trial and evaluation of coarse/fine movement complex type uniaxial table.

著者 (3件)： 米沢宏敏 (三菱電機) ,  笹井浩之 (三菱電機) ,  平田洋司 (三菱電機)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1989  号： Autumn 3  ページ： 679-680  発行年： 1989年10月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 粗動部にボールねじ駆動系,微動部に圧電素子を適用した粗微動複...

シソーラス用語： 超精密加工 ,...

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分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 精密位置決め ,  開発 ,  微動 ,  複合型 ,  一軸 ,  試作 ,  評価