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J-GLOBAL ID：200902002285052747   整理番号：89A0586739

紫外レーザパルスによる有機材料のエッチングのための理論

Theory for the etching of organic materials by ultraviolet laser pulses.

著者 (2件)： SAUERBREY R (Rice Univ., Texas) ,  PETTIT G H (Rice Univ., Texas)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 55  号： 5  ページ： 421-423  発行年： 1989年07月31日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記エッチングプロセスの数学的記述を提示。レーザアブレーショ...

シソーラス用語： 紫外レーザ ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 紫外レーザ ,  パルス ,  有機材料 ,  エッチング ,  理論