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J-GLOBAL ID：200902002310927818   整理番号：92A0074035

TMAAlを用いたAlGaAsの減圧MOVPE成長

Low Pressure MOVPE Growth of AlGaAs Using Trimethylamine Alane (TMAAl).

著者 (6件)： 木戸口勲 (松下電器産業 半導体研セ) ,  保科順一 (松下電器産業 半導体研セ) ,  万濃正也 (松下電器産業 半導体研セ) ,  高橋康仁 (松下電器産業 半導体研セ) ,  伴雄三郎 (松下電器産業 半導体研セ) ,  大仲清司 (松下電器産業 半導体研セ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 52nd  号： 1  ページ： 252  発行年： 1991年10月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： AlGaAs ,  減圧 ,  MOVPE ,  成長