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J-GLOBAL ID：200902002350846918   整理番号：85A0286060

長期的生体内部の圧力センサに対する製作プロセス

Fabrication technology for a chronic in-vivo pressure sensor.

著者 (3件)： BURNS B E (Stanford Univ., California) ,  BARTH P W (Stanford Univ., California) ,  ANGELL J B (Stanford Univ., California)
資料名： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻： 1984  ページ： 210-212  発行年： 1984年 
JST資料番号： C0829B  ISSN： 0163-1918  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積シリコンセンサの製作に固有の実装とプロセス同等性の問題に...

シソーラス用語： 圧抵抗効果 ,...
準シソーラス用語： 集積回路ボンディング ,...

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分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  生体計測  (EL03020C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 長期 ,  圧力センサ ,  製作プロセス