高パルス繰返し速度及び高平均出力のエキシマレーザシステムの設計と特性

SENTIS M L; DELAPORTE P; FORESTIER B M; FONTAINE B L

文献

J-GLOBAL ID：200902003458362778 整理番号：91A0927924

高パルス繰返し速度及び高平均出力のエキシマレーザシステムの設計と特性

Design and Characteristics of High Pulse Repetition Rate and High Average Power Excimer Laser Systems.

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資料名：
巻： 27 号： 10 ページ： 2332-2339 発行年： 1991年10月
JST資料番号： H0432A ISSN： 0018-9197 CODEN： IEJQA7 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

X線予備イオン化放電励起XeClレーザの高繰返し周波数,高平...

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気体レーザ

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