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J-GLOBAL ID：200902004290465173   整理番号：88A0081122

光記憶・記録とセンサ技術 クリーンルーム内の計測技術 レーザダストモニタによる微粒子計測技術

Optical storage and recording and sensor technology. The technology for measurement in clean room. The technology for fine particle measurement by the laser dust monitor.

著者 (2件)： 蓬菜泉雄 (日立電子エンジニアリング) ,  山本穂積 (日立電子エンジニアリング)
資料名： センサ技術  (Sensor Technology (Tokyo))
巻： 8  号： 2  ページ： 77-81  発行年： 1988年01月 
JST資料番号： S0554B  ISSN： 0285-5348  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 極微粒子の検出とサンプル流量の大容量化をポイントとして,日立...

シソーラス用語： クリーンルーム ,...

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分類 (1件)： 空気浄化  (PC02060X)

タイトルに関連する用語 (6件)： センサ技術 ,  クリーンルーム ,  計測技術 ,  レーザ ,  ダストモニタ ,  微粒子