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J-GLOBAL ID:200902004513884475   整理番号:85A0387849

電子援助化学気相成長法によるダイヤモンド薄膜の成長

Growth of diamond thin films by electron assisted chemical vapor deposition.
著者 (2件):
資料名:
巻: 46  号:ページ: 146-147  発行年: 1985年01月15日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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半導体薄膜 
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