XeClレーザを用いた金属膜の除去とパターン形成

ANDREW J E; DYER P E; GREENOUGH R D; KEY P H

文献

J-GLOBAL ID：200902004975484170 整理番号：84A0287697

XeClレーザを用いた金属膜の除去とパターン形成

Metal film removal and patterning using a XeCl laser.

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巻： 43 号： 11 ページ： 1076-1078 発行年： 1983年12月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

種々の基板(石英,ガラス,マイラー,パースペックス,ポリイミ...

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レーザ照射・損傷 , 固体デバイス製造技術一般

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