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J-GLOBAL ID：200902005222424864   整理番号：90A0129667

分子線エピタクシー(MBE)プロセスの新しい方法による実時間構造モニタリング

A novel method for real-time structural monitoring of molecular beam epitaxy(MBE) processes.

著者 (2件)： AONO M (RIKEN (The Inst. Physical and Chemical Research), Saitama) ,  KATAYAMA M (RIKEN (The Inst. Physical and Chemical Research), Saitama)
資料名： Proceedings of the Japan Academy. Series B. Physical and Biological Sciences  (Proceedings of the Japan Academy. Series B. Physical and Biological Sciences)
巻： 65  号： 6  ページ： 137-141  発行年： 1989年06月 
JST資料番号： G0485B  ISSN： 0386-2208  CODEN： PJABDW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者ら(1988)の低速イオン源とTOFイオンエネルギーアナ...

シソーラス用語： 低速イオン散乱 ,...
準シソーラス用語： CAICISS ,...

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分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  イオンとの相互作用  (BK16070Z) ,  その他の物理分析  (CC03014E)

引用文献 (4件)：

• 1) Katayama, M. et al. (1988): Nucl. Instr. Meth. Phys. Res., B33, 857-861.
• 2) Aono, M. et al. (1989): Nucl. Instr. Meth. Phys. Res., B37/38, 264-269.
• 3) Katayama, M. et al.: (to be published).
• 4) Lelay, G., Manneville, M., and Kern, R. (1978): Surf. Sci., 72, 405-422.

タイトルに関連する用語 (5件)： 分子線エピタクシー ,  MBE ,  プロセス ,  実時間 ,  構造モニタリング