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J-GLOBAL ID：200902005499569517   整理番号：90A0881851

空間フィルタ法によるパターン付半導体表面欠陥検査(第2報) 装置の開発および検出性能について

Surface defect inspection (2) of seniconductos with patterns by the space filter method.Development and detection performance of the equipment.

著者 (6件)： 宮崎陽子 (三菱電機 生産技研) ,  田中均 (三菱電機 生産技研) ,  市村英男 (三菱電機 生産技研) ,  吉川勇希 (三菱電機 生産技研) ,  小坂宣之 (三菱電機 生産技研) ,  友田利正 (三菱電機 生産技研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1990  号： Autumn 3  ページ： 947-948  発行年： 1990年09月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体ウエハの検査用として,Fourier変換パターンの写真...

シソーラス用語： 空間フィルタ ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 空間フィルタ ,  半導体表面 ,  欠陥検査 ,  開発 ,  検出性能