炭素とほう素の同時注入によるダイヤモンドのドーピング

SANDHU G S; SWANSON M L; CHU W K

文献

J-GLOBAL ID：200902007304095942 整理番号：90A0223516

炭素とほう素の同時注入によるダイヤモンドのドーピング

Doping of diamond by coimplantation of carbon and boron.

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巻： 55 号： 14 ページ： 1397-1399 発行年： 1989年10月02日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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半導体の放射線による構造と物性の変化 , 半導体の格子欠陥

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