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J-GLOBAL ID：200902007891044620   整理番号：91A0881095

特集 超精密位置決め技術の現状 半導体製造装置における位置決め技術

Special Issue on Ultra-precision Positioning Technologies. Positioning Techniques in Semiconductor Manufacturing Equipment.
著者 (1件)：
鳥海正樹

鳥海正樹 について

(東芝 生産技研)

東芝 生産技研 について


資料名：
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

精密工学会誌 について


巻： 57  号： 10  ページ： 1726-1730  発行年： 1991年10月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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標記装置のうちの縮小投影露光装置(ステッパ)について,精度と...
シソーラス用語：
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干渉計

干渉計 について

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チップ【IC】

チップ【IC】 について


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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

引用文献 (13件)：
  • 1) 例えば, 小林春洋 : レーザ応用技術, 日刊工業新聞社, p.126.
  • 2) 例えば, 田仲裕之 : i線による0.5μmリソグラフィー, 第17回VLSI Forumテキスト. 9. (1989) 23.
  • 3) D. S. Alles : The Step & Repeat Camera, The Bell System Tech. J., Nov. (1970).
  • 4) 武部紘二 : マスク合せ・露光装置, 機械設計, 27, 12(1983)47.
  • 5) 佐伯裕史, 森谷英一郎 : 超精密技術, 第2部・位置決め, 日経メカニカル, 6.30 (1986) 82.
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タイトルに関連する用語 (3件)：
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精密位置決め

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現状

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半導体製造装置

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