Raman分光によるダイアモンド薄膜における複合構造の解析

SHRODER R E; NEMANICH R J; GLASS J T

文献

J-GLOBAL ID：200902007908957039 整理番号：90A0373529

Raman分光によるダイアモンド薄膜における複合構造の解析

Analysis of the composite structures in diamond thin films by Raman spectroscopy.

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巻： 41 号： 6 ページ： 3738-3745 発行年： 1990年02月15日
JST資料番号： D0746A ISSN： 1098-0121 CODEN： PRBMDO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Raman分光を用いて,様々な化学気相蒸着により作製したダイ...

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半導体薄膜

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