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J-GLOBAL ID：200902008235702382   整理番号：93A0866677

Gettering of bonded SOI layers.

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著者 (2件)：
CHIOU H-D

CHIOU H-D について

(Motorola, Inc., Arizona)

Motorola, Inc., Arizona について

, 
SECCO D’ARAGONA F

SECCO D’ARAGONA F について

(Motorola, Inc., Arizona)

Motorola, Inc., Arizona について


資料名：
Proceedings of the 5th International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices, 1992  (Proceedings of the 5th International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices, 1992)

Proceedings of the 5th International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices, 1992 について


ページ： 416-423  発行年： 1992年 
JST資料番号： K19930515  ISBN： 1-56677-013-0  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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SOI

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