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J-GLOBAL ID：200902008921396263   整理番号：83A0319270

高真空における蒸発粒子のイオン化

著者 (3件)：
川下安司

川下安司 について

(神港精機)

神港精機 について

, 
中曽根正美

中曽根正美 について

(神港精機)

神港精機 について

, 
鈴木明

鈴木明 について

(神港精機)

神港精機 について


資料名：
真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)

真空 について


巻： 26  号： 5  ページ： 511-515  発行年： 1983年05月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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高真空

高真空 について

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分類 (1件)：
分類
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薄膜成長技術・装置 
(BK14020I)

薄膜成長技術・装置 について

引用文献 (8件)：
  • 1) D. M. Mattox : Electrochem. Technol., Sept. Oct. (1964) 295.
  • 2) 村山, 柏木, 知久 : 第34回応用物理学会学術講演会予稿集. (1973秋) 17p-B-16.
  • 3) 高木, 山田, 九里, 小陰山 : 第20回応用物理学会学術講演会予稿集. (1973春) 31a-N-10.
  • 4) 松原 : 真空6 (1973) 200.
  • 5) 鶴岡, 梅津, 小宮 : 第34回応用物理学会学術講演会予稿集. (1973秋) 18a-S-13.
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タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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高真空

高真空 について

, 
蒸発

蒸発 について

, 
イオン化

イオン化 について


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