CO<sub>2</sub>雪を用いた乾式表面洗浄法

SHERMAN R; GROB J; WHITLOCK W

文献

J-GLOBAL ID：200902009708043884 整理番号：91A0781086

CO₂雪を用いた乾式表面洗浄法

Dry surface cleaning using CO₂ snow.

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巻： 9 号： 4 ページ： 1970-1977 発行年： 1991年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ノズルを通して高純度のCO₂を膨張して...

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固体デバイス製造技術一般 , 試料技術

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CO2雪を用いた乾式表面洗浄法

CO₂雪を用いた乾式表面洗浄法