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J-GLOBAL ID：200902009755631212   整理番号：91A0951608

回折パターンによる極微細溝形状の測定評価に関する研究 矩形溝形状の測定評価

Fundamental Study for Measurement of the Size Parameters of Fine Grooves based on Fraunhofer Diffraction. Analysis and Measurement of Rectangular Groove.

著者 (4件)： 高谷裕浩 (北大 工) ,  三好隆志 (北大 工) ,  外山潔 (北大 工) ,  斎藤勝政 (北大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 57  号： 11  ページ： 2041-2047  発行年： 1991年11月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Fraunhofer回折を使った標記測定評価の基礎的検討を報...

シソーラス用語： 計算機シミュレーション ,...

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分類 (1件)： その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R)

引用文献 (5件)：

• 1) 応用物理学会光学懇話会編 : 光ディスクシステム, 朝倉書店, (1989).
• 2) 加藤恵三ほか : STMによる光ディスク案内溝の形状寸法測定, 昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, J78 (1988).
• 3) 清水義幸ほか : Fraunhofer回折像による超精密加工面性状の測定評価に関する研究 (第2報) -ダイヤモンド旋削面粗さのオンマシン計測, 1989年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, D07 (1989).
• 4) J. W. Goodman : Introduction to Fourier Optics, McGraw-Hill, New York, (1968) 57.
• 5) J. W. Goodman : Laser Speckle and Related Phenomena, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, (1975) 62.

タイトルに関連する用語 (6件)： 回折パターン ,  極 ,  微細溝 ,  評価 ,  研究 ,  矩形溝