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J-GLOBAL ID：200902009800658798   整理番号：81A0090965

LSI材料中の微量ウラン,トリウムの分析

著者 (5件)： 本間中八郎 (電電公社武蔵野電通研) ,  黒沢賢 (電電公社武蔵野電通研) ,  川島泉 (電電公社武蔵野電通研) ,  山脇正隆 (電電公社武蔵野電通研) ,  田中尚武 (電電公社武蔵野電通研)
資料名： 電子通信学会論文誌 C  (Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan. C)
巻： 63  号： 10  ページ： 653-659  発行年： 1980年10月 
JST資料番号： S0623A  ISSN： 0373-6113  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： LSI材料およびこれらに関連する各種材料中のU,Thの分析に...

シソーラス用語： LSI【IC】 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (4件)： LSI ,  ウラン ,  トリウム ,  分析