新しい圧電性Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>薄膜

NAKAGAWA Y; GOMI Y

文献

J-GLOBAL ID：200902010340167535 整理番号：85A0344675

新しい圧電性Ta₂O₅薄膜

New piezoelectric Ta₂O₅ thin films.

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資料名：
巻： 46 号： 2 ページ： 139-140 発行年： 1985年01月15日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

石英基板にO₂-Ar混合ガス中でのTa...

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圧電気,焦電気,エレクトレット , 固体の音波物性一般

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新しい圧電性Ta2O5薄膜

新しい圧電性Ta₂O₅薄膜