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J-GLOBAL ID：200902011039187942   整理番号：91A0572218

3点曲げ試験によるGaAs-on-Siの破断強度評価

Mechanical fracture strength of GaAs-on Si.

著者 (7件)： 杵築弘隆 (三菱電機) ,  早藤紀生 (三菱電機) ,  金野信明 (三菱電機) ,  門岩薫 (三菱電機) ,  西村隆司 (三菱電機) ,  水口一男 (三菱電機) ,  室谷利夫 (三菱電機)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 38th  号： Pt 1  ページ： 231  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： 3点曲げ試験 ,  GaAs ,  Si ,  破断強度 ,  評価