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J-GLOBAL ID：200902012619020049   整理番号：90A0927705

N₂分圧中スパッタFe-Al-Si系合金膜のTEMによる磁区観察

TEM observation of magnetic domains for Fe-Al-Si alloys sputtered in Ar+N₂ plasma.

著者 (4件)： 辰己正明 (三菱電機 材研) ,  井上和式 (三菱電機 材研) ,  和田理 (三菱電機 材研) ,  上原康 (三菱電機 材研)
資料名： 日本応用磁気学会学術講演概要集  (Digest of the Annual Conference on Magnetics in Japan)
巻： 14  ページ： 288  発行年： 1990年10月 
JST資料番号： Y0056A  ISSN： 1340-8100  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (9件)： N2 ,  分圧 ,  スパッタ ,  Fe ,  Al ,  Si系合金 ,  TEM ,  磁区 ,  観察