シリコン上の薄いZnO/SiO<sub>2</sub>ダイヤフラム使用のUHF弾性実体波フィルタ

文献

J-GLOBAL ID：200902013522595302 整理番号：86A0310181

シリコン上の薄いZnO/SiO₂ダイヤフラム使用のUHF弾性実体波フィルタ

UHF bulk-acoustic-wave filters utilizing thin ZnO/SiO₂-diaphragms on silicon.

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資料名：
巻： 25 号： 3 ページ： 371-375 発行年： 1986年03月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

シリコンウエハ上の薄い複合ダイヤフラム構造の温度変化に対し安...

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