文献

J-GLOBAL ID：200902014993281983   整理番号：87A0332137

Franhofer回折による超精密ダイヤモンド旋削面の粗さ測定

Measurement of fine surface roughness in ultra-precision diamond tool machining based on Fraunhofer diffraction.

著者 (3件)： 三好隆志 (北大 工) ,  宮腰貴宏 (北大 工) ,  斎藤勝政 (北大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 53  号： 5  ページ： 736-742  発行年： 1987年05月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光学的フーリエ変換によって得られるFraunhofer回折像...

シソーラス用語： ダイヤモンド工具 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=87A0332137&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (2件)： 旋削,中ぐり  (QC02020G) ,  その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R)

引用文献 (6件)：

• 1) 伊東 誼ほか : 超精密技術, 日本機械学会誌, 87,791 (1984) 1087.
• 2) 河野嗣男ほか : 超精密金属鏡の開発-非接触・光学式微小変位計ヘッド, 昭和58年度精機学会秋季大会学術講演会講演論文集 (1983) 391.
• 3) 三井公之ほか : 高感度インプロセス粗さ計の開発, 昭和59年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集 (1984) 393,
• 4) 安達正明ほか : シャーリング干渉顕微鏡を用いた精密加工面の粗さと自己相関関数, 昭和60年度精機学会秋季大会学術講演会講演論文集 (1985) 59.
• 5) J. W. Goodman : Introduction to Fourier Optics, McGraw-Hill, New York, N. Y., (1968) 57.

タイトルに関連する用語 (3件)： 回折 ,  超精密 ,  ダイヤモンド旋削