文献
J-GLOBAL ID：200902015167972445
整理番号：89A0184296
マイクロ波プラズマ化学蒸着で作ったダイアモンド薄膜のESR
ESR in diamond thin films synthesized by microwave plasma chemical vapor deposition.
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著者 (2件)：
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資料名：
巻：
27
号：
10
ページ：
1808-1811
発行年：
1988年10月
JST資料番号：
G0520B
ISSN：
0021-4922
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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分類 (1件)：
分類
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半導体薄膜
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