文献

J-GLOBAL ID：200902015255210032   整理番号：91A0606219

GaAs/Siの弾性変形解析

Elastic Deformation Analysis of GaAs/Si.

著者 (2件)： 本多尚之 (日立 日立研) ,  大橋鉄也 (日立 日立研)
資料名： シミュレーション・テクノロジー・コンファレンス発表論文集  (日本シミュレーション学会大会シミュレーション・テクノロジー・コンファレンス・計算電気・電子工学シンポジウム発表論文集)
巻： 10th  ページ： 51-54  発行年： 1991年06月 
JST資料番号： X0291A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： GaAs/Siにおけるストライプ状のGaAs層に生ずる熱応力...

シソーラス用語： ヒ化ガリウム ,...

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分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： GaAs ,  Si ,  弾性変形 ,  解析