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J-GLOBAL ID：200902015389455945   整理番号：91A0277519

電解研磨および電解複合研磨処理によるステンレス鋼真空槽のガス放出特性

Outgassing property of stainless steel chamber treated with electropolishing and electro chemical buffing.

著者 (7件)： 渡辺秀 (理研) ,  加藤茂樹 (理研) ,  白石明 (理研) ,  新岡勇三 (理研) ,  笹本哲司 (理研) ,  後藤栄一郎 (理研) ,  青野正和 (理研)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 34  号： 1  ページ： 51-55  発行年： 1991年01月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電解研磨(EP)または電解複合研磨(ECB)処理を施した二種...

シソーラス用語： 電解研磨 ,...
準シソーラス用語： SUS316L

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分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (6件)：

• 1) S. Kato, H. Oyama and Y. Sakamoto : Proc. 8th Int. Symp. on Plasma Chemistry, p. 2422, edited by K. Akashi and A. Kinbara (1987).
• 2) 電解複合研磨カタログ : 日造精密研磨株式会社 (1989).
• 3) 渡部 秀, 新岡勇三, 白石 明, 笹本哲司, 片山光浩, 青野正和 : 日本真空協会, 3月研究例会, 予稿集 (1989) p.21.
• 4) 馬場吉康 : 日本真空協会, 3月研究例会, 予稿集 (1989) p.6.
• 5) 加藤茂樹, 青野正和, 佐藤憲二, 馬場吉康 : 日本真空協会, 極高真空シンポジウム, 予稿集 (1990) p.49.

タイトルに関連する用語 (6件)： 電解研磨 ,  電解 ,  研磨処理 ,  ステンレス鋼 ,  真空槽 ,  ガス放出