抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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まず合金と化合物のスパッタリングについて合金の選択スパッタリングの例や酸化物は特に選択性のものがないこと,表面に偏析する現象が見られることを記述した。スパッタリングで生じる各種粒子については中性原子,二次イオン,励起した原子や二次電子の放出,エネルギ分布から角分布まで等を記載した。実験測定の方法はプラズマ放電法よりも入射種の量,ターゲットのスパッタリング前後の重量または厚みの測定等がよいことを挙げた。続いて計算機によるシミュレーションについては動力学模型法と二体衝突近似プログラム(TRIM)法を挙げた。最後に五項目の理由を挙げスパッタリングは運動量移動メカニズムが正しいことを立証した