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J-GLOBAL ID：200902016356330698   整理番号：87A0184710

ヘテロダインモアレ法を用いた真直度測定

Straightness measurement using a heterodyne moir<span style=text-decoration:overline>e ́</span> method.

著者 (2件)： SAKUMA H H (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  WADA H (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 9  号： 1  ページ： 19-22  発行年： 1987年01月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 寸法の迅速正確な計測を可能とする標記光学ヘテロダイン干渉法に...

シソーラス用語： 光ヘテロダイン法 ,...

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分類 (1件)： その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R)

タイトルに関連する用語 (3件)： ヘテロダイン ,  モアレ法 ,  真直度