rfスパッタした非晶質チタン酸バリウム薄膜の構造と電気的性質

SREENIVAS K; MANSINGH A; SAYER M

文献

J-GLOBAL ID：200902016364304027 整理番号：88A0188825

rfスパッタした非晶質チタン酸バリウム薄膜の構造と電気的性質

Structural and electrical properties of rf-sputtered amorphous barium titanate thin films.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=88A0188825&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=88A0188825&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

著者 (3件)： , ,
資料名：
巻： 62 号： 11 ページ： 4475-4481 発行年： 1987年12月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

スパッタガス組成(Ar+O₂ガス混合)...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=88A0188825&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

誘電体一般 , その他の無機化合物の薄膜

, , , ,

前のページに戻る