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J-GLOBAL ID：200902017546807136 整理番号：90A0632819

超音波マイクロモータ

Ultrasonic micromotors.

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資料名：
巻： 1989 号： 2 ページ： 745-748 発行年： 1989年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

超音波マイクロモータについて,薄膜の進行曲げ波で小ポリシリコ...

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電動機

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