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J-GLOBAL ID：200902017606646285   整理番号：93A0080156

マイクロ波放電によるUV,VUV光の発生

Generation of UV and VUV light by microwave discharge.

著者 (2件)： 吉沢憲治 (三菱電機) ,  滝正和 (三菱電機)
資料名： 放電研究  (Journal of the Institute of Engineers on Electrical Discharges in Japan)
号： 137  ページ： 5-13  発行年： 1992年10月 
JST資料番号： J0069A  ISSN： 0911-8713  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ波空洞共振器内で新開発の小さい球形無電極ランプを放電...

シソーラス用語： 真空紫外線 ,...

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分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロ波放電 ,  VUV