粒子の静電除去による表面の清浄化

COOPER D W; WOLFE H L; YEH J T C; MILLER R J

文献

J-GLOBAL ID：200902017712958253 整理番号：90A0853239

粒子の静電除去による表面の清浄化

Surface cleaning by electrostatic removal of particles.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=90A0853239&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=90A0853239&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0030B") }}

著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 13 号： 1 ページ： 116-123 発行年： 1990年07月
JST資料番号： H0030B ISSN： 0278-6826 CODEN： ASTYDQ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ウエハなどの粒子による表面汚染を除去する新しい乾式法として静...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=90A0853239&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0030B") }}

固体デバイス製造技術一般

前のページに戻る