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J-GLOBAL ID:200902018934571469   整理番号:84A0440095

エレクトロニクスにおける微細加工技術の展望と波及効果

著者 (2件):
資料名:
巻: 26  号:ページ: 18-24  発行年: 1984年08月 
JST資料番号: F0571A  ISSN: 0366-8819  CODEN: DEGIA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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超LSIは微細加工技術の革新,設備のクリーン化と材料チップの...
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  機械要素一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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