文献
J-GLOBAL ID：200902018934571469   整理番号：84A0440095

エレクトロニクスにおける微細加工技術の展望と波及効果

  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=84A0440095&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0571A") }}
著者 (2件)：
高梨明ひろ

高梨明ひろ について

(日立中研)

日立中研 について

, 
佐藤一雄

佐藤一雄 について

(日立中研試作部)

日立中研試作部 について


資料名：
電子技術  (Electronic Engineering)

電子技術 について


巻： 26  号： 9  ページ： 18-24  発行年： 1984年08月 
JST資料番号： F0571A  ISSN： 0366-8819  CODEN： DEGIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
超LSIは微細加工技術の革新,設備のクリーン化と材料チップの...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
LSI【IC】

LSI【IC】 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
メカニズム

メカニズム について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=84A0440095&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0571A") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  機械要素一般 
(QB01010L)

機械要素一般 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
エレクトロニクス

エレクトロニクス について

, 
微細加工技術

微細加工技術 について

, 
展望

展望 について

, 
波及効果

波及効果 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM