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J-GLOBAL ID：200902019330953947   整理番号：89A0373189

ダイヤモンドの核生成と成長のその場評価

In situ characterization of diamond nucleation and growth.

著者 (5件)： BELTON D N (General Motors Research Lab., MI, USA) ,  HARRIS S J (General Motors Research Lab., MI, USA) ,  SCHMIEG S J (General Motors Research Lab., MI, USA) ,  WEINER A M (General Motors Research Lab., MI, USA) ,  PERRY T A (General Motors Research Lab., MI, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 54  号： 5  ページ： 416-417  発行年： 1989年01月30日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フィラメント熱分解CVDによりSi(100)上にダイヤモンド...

シソーラス用語： ダイヤモンド ,...
準シソーラス用語： フィラメントCVD

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： ダイヤモンド ,  核生成 ,  成長 ,  評価