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J-GLOBAL ID：200902020395825715   整理番号：86A0442618

ネガチブフォトレジストの解像力を決定する因子 I 写真製版の動力学的な見方

О факторах, определяющих разрешающую способность негативных фоторезистов. I. Кинетический аспект фотолитографии.
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著者 (3件)：
ТРЕУШНИКОВ В М

ТРЕУШНИКОВ В М について

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ОЛЕЙНИК А В

ОЛЕЙНИК А В について

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ЗЕЛЕНЦОВА Н В

ЗЕЛЕНЦОВА Н В について


資料名：
Zhurnal Nauchnoj i Prikladnoj Fotografii i Kinemetografii  (Zhurnal Nauchnoj i Prikladnoj Fotografii i Kinemetografii)

Zhurnal Nauchnoj i Prikladnoj Fotografii i Kinemetografii について


巻： 31  号： 4  ページ： 264-271  発行年： 1986年07月 
JST資料番号： R0137A  ISSN： 0044-4561  CODEN： ZNPFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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写真製版に使用されるジアジド系高分子ネガチブフォトレジストに...
シソーラス用語：
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写真製版

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解像力

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分類 (1件)：
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写真製版 
(ZA05020E)

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因子

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写真製版

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動力学

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