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J-GLOBAL ID:200902020610357264   整理番号:89A0586670

ダイヤモンド薄膜とシリコンカーバイド薄膜 広帯域ギャップ半導体素材としての現状と展望

Diamond and silicon carbide thin films: Present status and potential as wide band gap semiconducting materials.
著者 (1件):
資料名:
巻:号:ページ: 81-103  発行年: 1989年 
JST資料番号: T0305A  ISSN: 0268-1900  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  固体デバイス材料 

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