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文献
J-GLOBAL ID:200902021308440108   整理番号:91A0414172

窒化ケイ素及び炭化ケイ素のレーザ加工機構の考察

A consideration on laser machining mechanism of silicon nitride and silicon carbide.
著者 (4件):
資料名:
巻: 39  号: 11  ページ: 439-443  発行年: 1990年11月
JST資料番号: F0514A  ISSN: 0027-7614  CODEN: NAGHA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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窒化ケイ素及び炭化ケイ素のレーザ加工時に生成する粒子成分を,...
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分類 (1件):
分類
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セラミック・陶磁器の製造 
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