簡単な低ノイズ干渉計を用いた走査型力顕微鏡

DEN BOEF A J

文献

J-GLOBAL ID：200902022206261981 整理番号：89A0506531

簡単な低ノイズ干渉計を用いた走査型力顕微鏡

Scanning force microscopy using a simple low-noise interferometer.

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資料名：
巻： 55 号： 5 ページ： 439-441 発行年： 1989年07月31日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高分解能表面プロファイリングや磁区観察に利用できる走査型力顕...

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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 , 顕微鏡法

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