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J-GLOBAL ID:200902024731619989   整理番号:93A0722477

Anomalous solid phase epitaxy near the compensation point in amorphous silicon with boron and phosphorus impurity profiles.

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資料名:
ページ: 51-55  発行年: 1992年 
JST資料番号: K19930408  ISBN: 1-55899-097-6  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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