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J-GLOBAL ID：200902025825277204   整理番号：92A0634658

原子間力顕微鏡による酸化物薄膜の加工ナノメータスケールでのパターンおよび構造形成

Machining Oxide Thin Films with an Atomic Force Microscope: Pattern and Object Formation on the Nanometer Scale.

著者 (2件)： KIM Y (Harvard Univ., MA) ,  LIEBER C M (Harvard Univ., MA)
資料名： Science  (Science)
巻： 257  号： 5068  ページ： 375-377  発行年： 1992年07月17日 
JST資料番号： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MoS₂上に成長させたMoO<sub>...

シソーラス用語： 酸化モリブデン ,...

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分類 (2件)： 試料技術  (BA02070O) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 原子間力顕微鏡 ,  酸化物薄膜 ,  ナノメータ ,  スケール ,  構造形成